유진테크, 코쿠사이 반도체 ALD장비 특허 추가 무효화...특허법원서 뒤집어

[지디넷코리아]일본 코쿠사이와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 유진테크가 이번에도 웃었다. 특허법원이 특허심판원 판단을 뒤집고 코쿠사이 특허 1건을 무효라고 판결했다. 특허법원은 15일 코쿠사이의 특허 '반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052, 아래 '052 특허)에 관련 심결취소소송 2건과 관련해, 앞서 특허가 유효하다고 판단했던 특허심판원 심결을 취소했다. 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '052 특허에 대한 유진테크의 무효심판 청구를 기각한 바 있다. 당시 특허심판원이 '052 특허는 유효라고 판단했는데, 특허법원은 이번에 이를 뒤집고 무효라고 판결했다. 또, 이번에 특허법원은 '052 특허에 대한 코쿠사이의 정정심판 청구를 기각했던 특허심판원 심결은 유지했다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 청구한다. 코쿠사이는 권리범위를 좁혀서 '052 특허를 유지하려 했던 것인데, 무위로 돌아갔다. 이번 특허법원 판결로 유진테크가 또 한번 우위를 점했다. 특허법원은 지난 5월 코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허)에 대해서 일무 무효(일부성립일부기각)라는 특허심판원 판단을 유지한 바 있다. 앞서 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 유진테크는 '961 특허의 2~18항, 20항이 무효라고 주장했는데, 7항을 빼고는 특허심판원이 모두 받아들였다. 특허법원 판단도 같았다. 특허법원도 유효라고 판결한 '961 특허의 청구항 7항은 변수가 될 수 있다. 코쿠사이는 '961 특허도 정정하려고 했지만 특허법원은 받아들이지 않았다. 유진테크와 코쿠사이가 다투고 있는 특허는 모두 4건이다. 특허심판원에서 시작한 무효분쟁 4건 중 2건('961 특허·'052 특허)이 특허법원 단계까지 끝났다. '961 특허의 쟁점 청구항이 대부분 무효라고 판단한 특허법원 판결에 대해 코쿠사이는 대법원에 상고했다. 특허사건은 대법원에서 결론이 바뀌는 경우가 많진 않다.코쿠사이의 또 다른 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법 및 기록매체'(등록번호 1969277)에 대해 특허심판원은 2025년 12월 일부 청구항이 무효라고 심결했다. 특허심판원 심결에 대해 쌍방이 특허법원에 항소했다. 나머지 코쿠사이의 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허)에 대한 특허심판원 판단은 이르면 이달 하순이나 다음달 초순 나올 예정이다. 코쿠사이가 '644 특허를 4차례 정정하면서 무효심판이 길어졌다. 이달 초순 특허심판원에서 열린 '644 특허 무효심판 구술심리에서 유진테크는 "새로운 주장을 포함하지 않고, (재판부의) 구술심리 질의응답에서 나왔던 내용을 보충 설명하는 내용의 의견서를 제출하겠다"고 밝혔다. 코쿠사이는 "(유진테크 의견서에) 반박할 내용이 있으면 의견서를 제출하겠다"고 밝혔다. 코쿠사이는 과거 삼성전자의 특정 공정용 ALD 장비를 독점 공급해왔는데, 유진테크가 이 시장에 진입하자 지난 2024년 특허침해소송을 제기했다. 코쿠사이가 소송에 사용한 특허는 4건에 대해 유진테크가 무효심판을 청구했다.