산화물 반도체 성능 결정 요인 '산소 결함 원리' 규명

산화물 반도체의 성능 변동을 결정하는 '산소 결함' 작동 메커니즘이 처음 밝혀졌다. 이 발견은 디스플레이 및 차세대 메모리용 소자 제조 공정 설계에 혁신적 영향을 미칠 전망이다. UNIST 정창욱 교수 연구팀은 산소 결함이 반도체 물질 내 금속 원자 간 거리 변화에 따라 전자 이동 경로를 결정함을 이론적으로 입증했다. IGZO 소재의 결함 제어를 통해 열처리 조건 및 박막 응력 설계를 통한 소자 성능 최적화가 가능하다고 분석했다.