“중국 DUV 노광 장비 생산 시작”…ASML 주가 급락

중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비을 생산했다는 소식에 시장 1위인 ASML 주가가 큰폭으로 떨어졌다. 블룸버그 통신은 27일(현지시간) 중국 상하이에 본사를 둔 국영기업이 액침 DUV 노광장비 양산을 시작했다고 IT매체 디인포메이션을 인용해 보도했다. 이름이 알려지지 않은 이 회사는 올해 DUV 장비 5대, 내년에는 20대 생산을 목표로 잡은 것으로 알려졌다. 노광 장비는 웨이퍼 위에 빛을 쏴 회로를 형성하는 필수 장비다. 회로 선폭에 따라 극자외선(EUV), DUV 등으로 나뉘는데, DUV는 10나노미터(㎚) 이상 회로를 구현하는데 주로 쓰인다, EUV와 견줘 최첨단 반도체 제조 활용도는 떨어지지만 여전히 시장 수요가 크다. 중국 현지 매체에 따르면, 올해 생산되는 장비는 SMIC·CXMT·화훙반도체 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정이다. 이번 보도에 이날 ASML 주가가 8.4% 급락했다. 미국 대중 수출 통제에도 중국이 반도체 자립에 진전을 이뤘다는 평가 때문이다. ASML은 미국 주도 수출 통제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비와 최상급 액침 DUV 장비의 중국 판매가 제한된다. 중국에 공급할 수 있는 장비는 최신 모델보다 한참 뒤처진 제품이다. 다만 저가형 DUV로도 중국 시장은 지난 2분기 기준 ASML의 세번째 매출인 큰 지역이다. 중국산 DUV는 성능과 제조 품질 면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처지며, 부품 공급 지연 등으로 올해 생산 속도가 다소 늦춰지고 있는 것으로 전해진다. 권동준 기자 djkwon@etnews.com